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室蘭工業大学大学院
佐藤孝紀先生の「プラズマエレクトロニクス特論」の評価一覧
【室蘭工業大学大学院】佐藤孝紀先生が担当する「プラズマエレクトロニクス特論」には、1件の授業評価が寄せられています。授業の充実度は星5.0点、楽単度は星2.0点です。会員登録・ログインをして、在学生による評価とシラバスの内容をもとに、授業の選択・履修登録の参考にしましょう。
かたまり さんの授業評価
| 学部 学科 | 工学研究科 建設システム工学専攻 |
|---|---|
| 担当の先生名 | 佐藤孝紀先生 |
| 授業種別 | 専門科目 |
| 出席 | ほぼ毎回とる |
| 教科書 | 教科書なし・不要 |
| 授業の雰囲気 | - |
| テスト |
前期/中間：
レポートのみ 後期/期末： レポートのみ 持ち込み： テストなし |
| テストの方式や難易度 | - |
| コメント 授業の内容や学べたこと |
ＬＳＩやメモリ製造工程の超微細加工で用いられるプラズマプロセンシング、高出力レーザー，放電灯等のように、気体放電プラズマの産業応用は多岐にわたっている。このような産業応用において、気体放電プラズマを適切かつ効率よく利用するには、その性質の詳細な理解と自在な制御が必要である。気体放電プラズマの性質は、それを構成する多種の粒子の挙動によって決定されるので、それらの挙動を把握することが気体放電プラズマの性質を理解する上で重要である。 この授業では、気体放電プラズマ中の粒子、特に電子やイオンのような荷電粒子の微視的な振る舞いとプラズマの巨視的性質の関係を学ぶ。また、近年、気体放電プラズマの解析において不可欠な手段となっているモデリングとシミュレーションについて、代表的な手法を取り上げて概要、基本方程式などを説明するとともに、荷電粒子の運動のシミュレーションを行う。 |
| 授業を 受けた時期 |
- |
| 評価 |
|
(2010/03/11) [1087518]
