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東京電機大学大学院
堀内敏行先生の「光微細加工技術特論」の評価一覧
【東京電機大学大学院】堀内敏行先生が担当する「光微細加工技術特論」には、1件の授業評価が寄せられています。授業の充実度は星3.0点、楽単度は星3.0点です。会員登録・ログインをして、在学生による評価とシラバスの内容をもとに、授業の選択・履修登録の参考にしましょう。
969696 さんの授業評価
| 学部 学科 | 先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻 |
|---|---|
| 担当の先生名 | 堀内敏行先生 |
| 授業種別 | その他 |
| 出席 | たまにとる |
| 教科書 | 教科書なし・不要 |
| 授業の雰囲気 | - |
| テスト |
前期/中間：
レポートのみ 後期/期末： レポートのみ 持ち込み： 教科書ノート持ち込み可 |
| テストの方式や難易度 | - |
| コメント 授業の内容や学べたこと |
光は様々な産業分野に応用されているが、微細加工への応用は非常に重要な技術となっている。最近の情報技術の進歩を支える半導体集積回路を製造するのに欠かせないリソグラフィ技術は、センサ、マイクロ流路、ディスプレイなどの製造にも不可欠の技術となっており、とくに重要である。本講義では、リソグラフィ技術の基本原理や課題、最近の研究開発動向等を講義する。 |
| 授業を 受けた時期 |
- |
| 評価 |
|
(2017/04/01) [2401364]
